ALD生长Al2O3超薄钝化层平衡提升HfGdOx/α-InGaZnO TFTs性能探索

第十六届全国薄膜技术学术研讨会

Zr++Nb+离子共注入对二氧化锆薄膜的表面改性

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Cr掺杂AlN薄膜压电性能研究

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Mg+或Ca+注入对Cu/TiN复合膜包覆钛合金的生物性能影响

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A位元素对于MAX相结构、力学以及电子性能的调控

第十六届全国薄膜技术学术研讨会

钛箔表面TiO2/SiO2复合膜负极的一步法制备及其电化学性能

第十六届全国薄膜技术学术研讨会

双极板表面改性非晶碳薄膜致密性与组分结构对界面损伤的影响

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基于声表面波驱动一体化制备技术的二维MXenes超薄膜及其气体传感应用

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一种柔性电子传感器制备系统设计

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基于部分刻蚀压电层提升双模式ZnO/SiC声表面波器件机电耦合系数的研究

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