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活动简介

以高功率脉冲磁控溅射技术(HiPIMS)为代表的高离化磁控溅射技术作为一种新的物理气相沉积技术,可以明显提高薄膜结构可控性,进而获得优异的薄膜性能,在国内外研究领域和工业界受到了广泛关注和重视。为推动该技术的进步,国际上已经形成了HiPIMS Today等一系列的国际会议对该技术放电机理、脉冲形式、等离子体输运与诊断、以及薄膜/涂层沉积与应用等多个方面进行专题研讨,为其发展与应用带来了蓬勃动力!

中国机械工程学会表面工程分会作为全国性的学术组织,于2017年提出在国内举办高功率脉冲磁控溅射技术与应用专题研讨会,并连续在上海、兰州和深圳成功举办三届,交流报告数量和质量显著提升,交流内容涉及高功率脉冲磁控溅射过程中电子与离子的相互作用,深振荡、中频叠加等电源与阴极靶结构协同控制等基础研究,工艺参数对膜层性能的影响、工业化存在的主要问题及对策等。参会人员由80人迅速增加到200余人,通过会议交流、深入讨论及与国际知名企业的对接,推动了我国高功率脉冲磁控溅射技术的发展。

近年来,国家对科技创新日益关注,习近平总书记多次强调创新的重要性,科技创新被提到了十分重要的位置。重庆作为中西部唯一的直辖市、国家先进制造业中心,在国家区域发展和对外开放格局中具有独特而重要的作用,必将为本次创新型会议提供良好的交流氛围;同时,本次具有技术前瞻性的学术会议在重庆召开,也将推动当地薄膜技术的发展进步。

经中国机械工程学会表面工程分会与西南大学材料与能源学院协商,定于2023年10月20~22日在重庆召开“2023高功率脉冲磁控溅射技术与应用会议”。热忱欢迎国内外从事薄膜技术研究与应用的科技工作者参会,同时,也欢迎有意推动我国薄膜技术发展的企业参加会议和提供支持!

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重要日期
  • 会议日期

    10月20日

    2023

    10月22日

    2023

主办单位
中国机械工程学会表面工程分会
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