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基于多普勒频移的电子器件振动测试

激光；振动分析；机械振动；激光干涉；多普勒原理

随着大规模集成电路向超大规模集成电路进发，元件的尺寸不断缩小，解决了微小尺寸元件的制造与生产，下一步便是如何去检测其性能指标是否达到标准，于是，对微型器件的振动分析与测试是目前研究的的热点问题之一。由于振动系统受到外界激扰在形式上是非常多的，因此相应的激励响应也是多种多样的，物体在某个平衡位置附近作往复或周期性的机械运动时，已知物体系统特性和激扰条件，解析函数解法和数值近似解法分析计算物体系统的振动响应。利用非接触式的激光干涉技术以及多普勒原理测量振动频率、振幅、速度和加速度，使其外界环境干扰达到最小化，同时更精确地对被测物体进行系统的进行振动模态分析。随着现代工业和现代科学技术的发展，对各种仪器设备提出了低振和低噪声的要求，以及对主要生产过程或重要设备进行监测、诊断，对工作环境进行控制等等