基于Al基键合的集成式硅PIN辐射探测器制造中国微米纳米技术学会第六届青年科学家论坛（重庆）

编号：5 访问权限：仅限参会人更新：2021-06-26 08:31:07 浏览：203次口头报告

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提出了一种基于Al-Sn-Al键合的集成式硅PIN探测器。薄探测器结构和厚探测器结构之间的中间导电层由金属结合层组成，可以减少信号串扰。此外，新的集成工艺使得薄和厚探测器结构形成（KGD）键合成为可能，这增加了制造工艺的灵活性和可靠性。此外，采用硅集成工艺，降低了成本，提高了可靠性。

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教授 西南大学

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