等离子体辅助原子层沉积氮化锰薄膜研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
陈 森  北京印刷学院
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溅射功率对LiCoO2薄膜结构及性能的影响研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
孙 闯  大连理工大学
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PECVD中影响成膜质量的关键因素分析
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
孙 嘉琦  东北大学
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可调制波形双极性高功率脉冲磁控溅射聚酰亚胺-金属薄膜的机械性能研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
田 钦文  哈尔滨工业大学(深圳)
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HiPIMS沉积微深孔内壁三维结构厚度及膜层结构研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
柏 贺达  哈尔滨工业大学(深圳)
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不同脉冲电压对管内沉积类金刚石薄膜性能的影响
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
靳 朋礼  哈尔滨工业大学
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耦合掺杂量子级联探测器的高响应性能研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
陈 杰  中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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相变薄膜材料的高深宽比刻蚀工艺研究
第十六届全国薄膜技术学术研讨会
彭 忻怡  华中科技大学
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