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紫外焦平面阵列器件相对光谱响应测量技术研究

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光谱响应度是探测器的重要技术参数之一,随着紫外探测技术的发展,精确测量紫外探测器的光谱响应度变得越来越重要。文章分析了紫外焦平面阵列相对光谱响应度的测量原理,采用了替代法测量紫外焦平面阵列探测器的相对光谱响应度,并建立了紫外焦平面阵列相对光谱响应的测量装置。实验获取了紫外焦平面阵列相对光谱响应度曲线,从曲线中可以看出,紫外焦平面阵列光谱响应范围为250~290nm,峰值响应在270nm附近,表明该阵列器件具有日盲特性。不确定度分析结果显示,紫外阵列器件相对光谱响应测量系统的测量不确定度约3.6%,可以满足测量要求。