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面向半导体装备的耐蚀耐磨陶瓷涂层制备技术研究
编号：59 访问权限：仅限参会人 更新：2026-03-17 16:16:06 浏览：1次 特邀报告

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摘要
面向高端半导体装备对关键部件长效防护的迫切需求，针对传统涂层材料在极端等离子体刻蚀和剧烈磨损工况下寿命不足、稳定性差的问题展开技术研究。通过与企业合作，研发高纯度氧化钇/氟氧化钇、多元复合陶瓷和中/高熵陶瓷涂层，突破材料设计与精密制备等核心技术瓶颈，使关键部件耐刻蚀性能和耐磨寿命提高。 提出了高性能陶瓷涂层材料“成分-结构”协同设计方法，发展了多种耐蚀耐磨涂层材料体系。建立了半导体级涂层“粉—构—效”一体化制备技术，解决了高纯度、低缺陷和强结合涂层的宏量制备难题。 开发了与主流半导体装备深度适配的涂层解决方案，实现了关键部件的长效防护。
关键词
热喷涂,耐磨,耐腐蚀,半导体
报告人
张 超
院长/教授 扬州大学

稿件作者
张 超 扬州大学
黄 新春 合肥盈锐高科新材料科技有限公司
吴 凯迪 扬州大学
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重要日期

  • 04月26日

    2026

    会议日期

  • 04月16日 2026

    初稿截稿日期

主办单位
中国机械工程学会
承办单位
中国机械工程学会表面工程分会
中国科学院兰州化学物理研究所 润滑材料全国重点实验室
中国航天科技集团兰州空间技术物理研究所
甘肃省化学会
甘肃省材料学会
兰州城市学院
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