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测量无基底效应薄膜材料的杨氏模量
编号：1412 访问权限：仅限参会人 更新：2026-04-24 19:42:31 浏览：16次 口头报告

报告开始：2026年04月28日 11:30（Asia/Shanghai）

报告时间：10min

所在会场：[B] 薄膜科技论坛 [B1] B上午场

暂无文件

摘要
利用KLA纳米压痕仪的连续刚度测量技术结合Hay-Crawford模型对压痕载荷-深度曲线进行解析，可用获得没有基底效应薄膜材料的杨氏模量，借助有限元分析分别对膜、基材料的模量十倍范围内不同深度的分析验证，在压入深度30%的膜厚范围内都可以获取薄膜的本征杨氏模量，该方法避免了传统模型分析中基底效应对薄膜模量测量的影响，为薄膜力学性能的准确评价提供了有效手段。
关键词
暂无
报告人
谢存毅
博士 KLA Instruments

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重要日期

  • 会议日期

    04月26日

    2026

    至

    04月28日

    2026

  • 04月26日 2026

    初稿截稿日期

  • 04月28日 2026

    注册截止日期

主办单位
中国机械工程学会
承办单位
中国机械工程学会表面工程分会
中国科学院兰州化学物理研究所 润滑材料全国重点实验室
中国航天科技集团兰州空间技术物理研究所
甘肃省化学会
甘肃省材料学会
兰州城市学院
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