604 / 2023-04-20 09:18:05
C2H2流量对反应溅射石墨制备非晶碳膜层结构及性能影响研究
乙炔;反应溅射;非晶碳;微观结构;力学性能;摩擦学性能
摘要录用
刘京周 / 上海航天设备制造总厂有限公司
鞠鹏飞 / 上海航天设备制造总厂有限公司
目的:研究反应溅射石墨制备非晶碳过程中乙炔流量变化对非晶碳微观结构、力学性能及摩擦学性能影响规律 方式:通过在乙炔气氛中反应溅射石墨靶,调控乙炔流量制备了不同结构的非晶碳膜层,采用X射线光电子能谱仪、激光共聚焦拉曼光谱仪分析膜层的微观结构,采用纳米压痕仪表征膜层的力学性能,采用球盘式摩擦磨损试验机、白光干涉仪和光学显微镜表征膜层摩擦学性能。结果:通过反应溅射法制备了致密均匀的非晶碳,分析发现所有薄膜表层含有一定量O元素(6.36 at.%-13.86 at.%),Ar+刻蚀后大部分膜层O含量可降至1at.%以下;随乙炔流量增加,膜层H、E和H3/E2均呈先增后减的趋势,乙炔流量10 sccm时,膜层硬度和弹性模量达到最大值,分别为27.93 GPa和233.55 GPa;摩擦学性能测试结果显示,膜层平均摩擦系数在0.09-0.11之间,启动阶段摩擦系数随H含量增加呈降低趋势,5 sccm试样膜层的耐磨性最高,磨损量最小,为0.72×10-16 m3/Nm 结论:通过调节反应溅射石墨过程中的乙炔流量可调控非晶碳中sp3/sp2、H含量,进而达到调控非晶碳力学性能、摩擦学性能的目的。
重要日期
  • 会议日期

    04月21日

    2023

    04月23日

    2023

  • 04月20日 2023

    初稿截稿日期

  • 04月23日 2023

    注册截止日期

主办单位
中国机械工程学会表面工程分会
承办单位
武汉材料保护研究所有限公司
特种表面保护材料及应用技术国家重点实验室
协办单位
中国科学院兰州化学物理研究所
中国科学院宁波材料技术与工程研究所
中国科学院上海硅酸盐研究所
中国科学院金属研究所
广东省新材料研究所
大连理工大学
西安交通大学
北京科技大学
西南交通大学
哈尔滨工业大学
联系方式
  • 段金弟(中国机械工程学会表面工程分会)
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