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FTO玻璃AACVD方法制备及基于椭偏光谱的本构分析
编号：9 访问权限：仅限参会人 更新：2021-10-31 14:57:41 浏览：152次 分会场邀请报告

报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）

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摘要
气溶胶辅助化学气相沉积法（AACVD）具有成本低、易调控等优点，但该方法的前驱体溶剂在调控过程中发生的化学反应难以直接进行表征。以FTO薄膜为研究对象，通过设计系列溶胶前驱体工艺参数，表征FTO薄膜结构与性能随溶胶工艺的变化规律，结合椭圆偏振光谱法对FTO薄膜进行精细结构分析，探索溶胶预反应机理，为优化FTO镀膜玻璃大面积制备工艺提供理论指导。
关键词
透明导电镀膜玻璃；光电性能；溶胶-凝胶；椭圆偏振光谱
报告人
刘涌
浙江大学

稿件作者
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重要日期

  • 会议日期

    12月15日

    2023

    至

    12月17日

    2023

  • 11月30日 2023

    初稿截稿日期

  • 03月08日 2024

    注册截止日期

主办单位
中国真空学会薄膜专业委员会
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