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脉冲等离子体辅助制备功能材料的研究
编号：81 访问权限：仅限参会人 更新：2021-11-24 09:55:45 浏览：241次 口头报告

报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）

报告时间：暂无持续时间

所在会场：[暂无会议] [暂无会议段]

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摘要
等离子体技术在工业生产中已得到广泛应用，例如表面改性和功能材料制备等方面。相比于连续放电，脉冲放电可以产生更多的活性自由基粒子，放电产生的强电场可以使电子加速，而离子和中性粒子几乎没有移动。因此，采用脉冲等离子体辅助化学气相沉积在提高等离子体中的活性自由基粒子浓度的同时还可以有效控制宏观温度的增加。本文通过脉冲等离子体辅助化学气相沉积制备功能薄膜材料，进行薄膜结构和阻隔性能关系的研究。利用椭圆偏振仪(SE)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、x-射线光电子能谱(XPS)研究薄膜生长过程、表面形貌、结构成分；透湿仪对沉积薄膜阻隔性能进行测量，将薄膜结构参数、性能参数结合一起，给出提高沉积薄膜性能的理论指导。
关键词
脉冲等离子体，功能薄膜，薄膜结构，薄膜性能
报告人
段珊珊
北京印刷学院等离子体物理及材料研究室

稿件作者
段珊珊 北京印刷学院等离子体物理及材料研究室
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重要日期

  • 会议日期

    12月15日

    2023

    至

    12月17日

    2023

  • 11月30日 2023

    初稿截稿日期

  • 03月08日 2024

    注册截止日期

主办单位
中国真空学会薄膜专业委员会
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