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薄膜电阻用钽氮化合物功能薄膜材料的研究
编号：77
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更新：2021-11-24 09:51:57 浏览：305次
口头报告
报告开始：暂无开始时间（Asia/Shanghai）
报告时间：暂无持续时间
所在会场：[暂无会议] [暂无会议段]
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摘要
钽氮化合物薄膜材料具有电阻温度系数小、化学稳定性高、功率耐受好和阻值可调范围大等优点，是制备高性能薄膜电阻的优选关键材料。本文综述了钽氮化合物功能薄膜材料的研究进展，讨论了关键工艺参数对薄膜材料性能的影响，系统分析了内在的影响作用机制，并展望了钽氮化合物功能薄膜材料在薄膜电阻产品中的应用及其发展趋势，为进一步开发和制备新型高性能电阻用功能薄膜提供了有益的借鉴。
关键词
电子功能薄膜,钽氮化物薄膜,薄膜电阻,物相
报告人
杨曌
华南理工大学；广东风华高新科技股份有限公司；新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室稿件作者
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重要日期
-
会议日期
12月15日
2023
至12月17日
2023
-
11月30日 2023
初稿截稿日期
-
03月08日 2024
注册截止日期
主办单位
中国真空学会薄膜专业委员会
联系方式
- Mr. 刘敏强
- li******@163.com
- 139********
历届会议
-
2019年11月15日 中国 �
第十五届全国薄膜技术学术研讨会 -
2017年08月01日 中国
TFC'17全国薄膜技术学术研讨会 -
2013年10月13日 中国 宁波市
TFC'13全国薄膜技术学术研讨会 -
2009年08月10日 中国 成都市
TFC'09全国薄膜技术学术研讨会
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