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用于电致变色器件制备的先进多靶真空磁控溅射装备设计：优化工艺参数以提高性能摘要待审

AbderaoufDjeffal*, 赵崇祥, 刁训刚

#薄膜技术新装备

78
可调制波形双极性高功率脉冲磁控溅射聚酰亚胺-金属薄膜的机械性能研究摘要录用

田钦文, 吴厚朴, 巩春志, 曹德州, 李明雨*, 刘向力

#薄膜技术新装备

29
一种柔性电子传感器制备系统设计摘要录用

匡永麟, 张国玉, 秦江鹏, 王晓冬*

#薄膜技术新装备

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重要日期

  • 会议日期

    12月15日

    2023

    至

    12月17日

    2023

  • 11月30日 2023

    初稿截稿日期

  • 03月08日 2024

    注册截止日期

主办单位
中国真空学会薄膜专业委员会
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