90 / 2023-09-19 13:22:45

电弧离子镀复合高功率脉冲磁控溅射碳薄膜制备及摩擦学性能研究

高功率脉冲磁控溅射，碳薄膜，润滑

高功率脉冲磁控溅射技术和磁过滤电弧离子镀是目前制备高性能薄膜最具潜力的方法。目前对于高功率脉冲磁控溅射制备碳薄膜和磁过滤电弧制备碳薄膜的研究较多，但是对2种方法复合制备碳薄膜的研究较少。作为辉光等离子体和热等离子体的典型代表，其复合应用对调控薄膜结构、性能意义重大。为了探索高功率脉冲磁控溅射技术和磁过滤电弧离子镀复合制备碳薄膜的结构和性能，尤其是摩擦学行为的影响，团队设计了柱状磁过滤电弧+高功率脉冲磁控溅射镀膜设备，并对辉光弧光（热等离子体）耦合放电展开了研究，本文主要对相关研究进展做了简要介绍。