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72 / 2021-10-31 09:48:51
薄膜电阻用钽氮化合物功能薄膜材料的研究
电子功能薄膜,钽氮化物薄膜,薄膜电阻,物相
薄膜技术应用与产业化
摘要录用
杨曌 / 华南理工大学；广东风华高新科技股份有限公司；新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室
付振晓 / 广东风华高新科技股份有限公司；新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室
沓世我 / 广东风华高新科技股份有限公司；新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室
王鑫豪 / 广东风华高新科技股份有限公司；新型电子元器件关键材料与工艺国家重点实验室
姚日晖 / 华南理工大学
宁洪龙 / 华南理工大学
钽氮化合物薄膜材料具有电阻温度系数小、化学稳定性高、功率耐受好和阻值可调范围大等优点，是制备高性能薄膜电阻的优选关键材料。本文综述了钽氮化合物功能薄膜材料的研究进展，讨论了关键工艺参数对薄膜材料性能的影响，系统分析了内在的影响作用机制，并展望了钽氮化合物功能薄膜材料在薄膜电阻产品中的应用及其发展趋势，为进一步开发和制备新型高性能电阻用功能薄膜提供了有益的借鉴。
重要日期

  • 会议日期

    12月15日

    2023

    至

    12月17日

    2023

  • 11月30日 2023

    初稿截稿日期

  • 03月08日 2024

    注册截止日期

主办单位
中国真空学会薄膜专业委员会
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