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脉冲等离子体辅助制备功能材料的研究

脉冲等离子体，功能薄膜，薄膜结构，薄膜性能

等离子体技术在工业生产中已得到广泛应用，例如表面改性和功能材料制备等方面。相比于连续放电，脉冲放电可以产生更多的活性自由基粒子，放电产生的强电场可以使电子加速，而离子和中性粒子几乎没有移动。因此，采用脉冲等离子体辅助化学气相沉积在提高等离子体中的活性自由基粒子浓度的同时还可以有效控制宏观温度的增加。本文通过脉冲等离子体辅助化学气相沉积制备功能薄膜材料，进行薄膜结构和阻隔性能关系的研究。利用椭圆偏振仪(SE)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、x-射线光电子能谱(XPS)研究薄膜生长过程、表面形貌、结构成分；透湿仪对沉积薄膜阻隔性能进行测量，将薄膜结构参数、性能参数结合一起，给出提高沉积薄膜性能的理论指导。