28 / 2021-10-26 10:44:49

基于硫化锡纳米片的声表面二氧化氮气体传感器

声表面波；硫化锡；纳米片；二氧化氮；气体传感器

由于声表面波（surface acoustic wave，SAW）无限无源的特性，SAW气体传感器在实时气体探测方面展示了出巨大的应用潜力。用旋涂工艺将合成的SnS₂纳米片集成到基于石英基底延迟线型SAW器件上。最终制备出可在较低温度（120℃）下探测ppb级别的NO₂声表面波气体传感器。传感器在最佳工作温度（120℃）下对1 ppm NO₂气体达到了5.4 kHz的频率漂移，响应及恢复时间分别为10 s和236 s，其理论检测极限可达6 ppb，所制备的传感器表现出良好的选择性和稳定性。最后探讨了基于SnS₂的SAW气体传感器气敏响应机理。