MOI(Metal On ITO)导电膜是一种导电材料，主要应用于终端产品边框较窄、对面电阻要求较高的触控显示场景，如消费电子等。本文采用磁控溅射技术在柔性材料PET上制备Cu(100nm)/ITO(40nm)/PET(125nm)薄膜。采用X射线光电子能谱仪、四探针测试仪、硬度计、百格刀对薄膜的基本性能进行了测试；对薄膜进行高低温和酸碱处理，测试了薄膜的耐环境性能；利用自建的弯曲和扭转测试装置，对薄膜的机械耐久性（弯曲、扭转）进行了测试。结果表明：室温时柔性薄膜方阻为：390mΩ/□；硬度等级为：6H(750g)；附着力等级为：5B；高温85℃处理12h后，薄膜方阻变化很小(0.5%)；低温-20℃、-80℃处理24h、100h后，薄膜方阻随着温度的降低和处理时间的增加而增加(最大为6%)；酸(1mol/L HCL)处理2-15min后，薄膜方阻随着处理时间的增加而增加(最大为20.5%)；碱(1mol/L NaOH)处理2-15min后，薄膜方阻随着处理时间的增加而增加(最大为21.8%)；薄膜内、外弯曲临界半径分别为6mm、5mm,随着弯曲半径小于等于临界半径，薄膜方阻逐渐增大 (内、外弯曲最大方阻变化为5.1%、7.4%)；在临界半径范围内，内、外弯曲经过多次循环(250-1500次)后，薄膜的方阻增大范围在6%以内；随着扭转角度的增大(6°-42°),薄膜方阻逐渐增大(最大方阻变化为9.2%)。