氢离子注入对类石墨非晶碳膜结构和性能的影响
编号:947 访问权限:仅限参会人 更新:2023-04-01 21:20:57 浏览:121次 口头报告

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摘要
离子注入能有效的调节材料表面化学结构,改善材料的性能,已广泛应用于材料表面改性研究领域。本文利用浸没式离子注入,利用脉冲高压下,对不含氢类石墨非晶碳膜进行氢离子注入。拉曼光谱分析结果表明,氢离子注入使薄膜的表层碳原子杂化结构由类石墨结构(sp2为主)向类金刚石结构(sp3为主)转变;透射电镜分析结果表明,经过氢离子注入后,其表层柱状结构转变为致密的玻璃态结构;时间分辩二次离子质谱深度分析结果表明,注入的氢离子注入主要分布在结构转变层中。此外,划痕测试和摩擦学分析结果表明,氢离子注入能显著改善薄膜的结合力和摩擦学性能。
关键词
暂无
报告人
小强刘
江西理工大学

稿件作者
小强刘 江西理工大学
郝俊英 中国科学院兰州化学物理研究所
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重要日期
  • 会议日期

    04月24日

    2023

    04月27日

    2023

  • 03月20日 2023

    初稿截稿日期

  • 04月27日 2023

    注册截止日期

主办单位
中国机械工程学会
承办单位
中国科学院兰州化学物理研究所
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