报告详情
利用深度剖析定量分析方法确定薄膜层结构中元素的成分分布
编号：37
访问权限：仅限参会人
更新：2020-12-08 15:49:17
浏览：605次
特邀报告
报告开始：2020年11月15日 11:10（0）
报告时间：20min
所在会场：[D] 分会场三：薄膜科技论坛 [D1] 上午
暂无文件
摘要
深度剖析技术现已广泛应用于确定薄膜材料及功能多层膜中元素成分随深度的分布，但由于其涉及复杂的离子溅射过程，样品形貌的多样性，被探测的信号来自距样品表层不同的深度，以及择优溅射等效应，使得测量的成分深度谱偏离真实的成分分布。利用MRI（Mixing-Roughness-Information）模型的深度分辨率函数，通过卷积或反卷积的方法对测量深度谱数据的定量分析，可以还原薄膜层结构中原始的元素成分分布。该方法成功应用于GaAs/AlAs超晶格多层膜和硫脲单分子层结构、以及Ni/Cr多层膜界面粗糙度和Si/Al多层膜中扩散系数的确定。
关键词
深度剖析,薄膜层结构,成分分布,MRI深度分辨率函数
报告人
王江涌
汕头大学物理系稿件作者
全部评论
重要日期
-
会议日期
11月13日
2020
至11月16日
2020
-
10月31日 2020
提前注册日期
-
11月05日 2020
初稿截稿日期
-
11月16日 2020
注册截止日期
主办单位
中国机械工程学会表面工程分会
承办单位
广东省新材料研究所
北京大学深圳研究生院
现代材料表面工程技术国家工程实验室
北京大学深圳研究生院
现代材料表面工程技术国家工程实验室
联系方式
- 段金弟
- 20******@sina.com
- 139********
历届会议
-
2023年04月21日 中国 武汉市
第十四届全国表面工程大会 -
2018年11月09日 中国 Kunming
第十二届全国表面工程大会暨第十届全国青年表面工程论坛 -
2016年10月23日 中国 成都市
第十一届全国表面工程大会 -
2016年10月22日 中国 成都市
第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议 -
2014年10月28日 中国 武汉市
第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛 -
2014年10月01日 中国 武汉市
第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛 -
2010年04月26日 中国 北京市
第八届全国表面工程学术会议暨第三届表面工程青年学术论坛 -
2008年04月01日 中国 武汉市
第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛
发表评论