沉积温度对CrN涂层微观结构及摩擦学性能的影响
编号:36 访问权限:仅限参会人 更新:2020-12-08 16:07:40 浏览:648次 口头报告

报告开始:2020年11月15日 15:30(0)

报告时间:15min

所在会场:[D] 分会场三:薄膜科技论坛 [D2] 下午

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摘要
采用直流磁控溅射技术在150℃、200℃和250℃三种沉积温度下制备了不同的CrN涂层,系统地研究了温度对涂层微观结构及力学性能的影响,并在此基础上考察了大豆油润滑下涂层的摩擦学性能。结果表明,三种涂层均主要以CrN相的形式存在,且随着沉积温度的提升,涂层逐渐致密,表面粗糙度逐渐减小,涂层厚度呈现出先增加后减小的趋势,分别为0.13μm、1μm和0.63μm;涂层的结合力和硬度也逐渐增加,温度为250℃时,涂层具有最大的结合力和硬度,分别为22N和8.9GPa。摩擦实验表明,干摩擦条件下,CrN-250涂层的平均摩擦系数和磨损率均最低,分别为0.77和4.5×10-6mm3/(Nm);大豆油润滑下CrN-250同样表现出优异的润滑特性,其平均摩擦系数和磨损率分别低至0.10和1.4×10-6mm3/(Nm)。当沉积温度为250℃时,CrN涂层具有最优的机械及摩擦学性能。
关键词
直流磁控;CrN涂层;温度;摩擦磨损;大豆油润滑
报告人
李阳
青岛理工大学

稿件作者
李阳 青岛理工大学
万勇 齐鲁工业大学
曹磊 青岛理工大学
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重要日期
  • 会议日期

    11月13日

    2020

    11月16日

    2020

  • 10月31日 2020

    提前注册日期

  • 11月05日 2020

    初稿截稿日期

  • 11月16日 2020

    注册截止日期

主办单位
中国机械工程学会表面工程分会
承办单位
广东省新材料研究所
北京大学深圳研究生院
现代材料表面工程技术国家工程实验室
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