超导加速器是高能物理及基础模型、生命及材料科学、核物理及放射性核素研究等领域不可缺少的研究手段，在能源、医疗、国防等方面也有着重要的应用价值，其核心部件是射频超导腔。相比于当前的纯铌超导腔，Nb₃Sn薄膜超导腔不但可以工作于更高的温度4.2K，还具有运行于两倍纯铌腔加速梯度的潜力，是下一代超导加速器的核心关键技术，是射频超导领域的前沿课题，更是一项可以突破国外2K大型制冷机限制，降低氦气进口依赖程度等“卡脖子”问题，保证我国无后顾之忧的发展超导加速器装置，为重大科学发现、国防安全、能源利用等提供不可或缺研究手段的变革性关键核心技术。锡蒸汽扩散法是研制Nb₃Sn薄膜超导腔的最佳方法，近代物理研究所是国内最早利用锡蒸汽扩散法研制Nb3Sn薄膜超导腔的单位。成功研制出国内首只Nb₃Sn薄膜超导腔并完成低温测试，填补国内空白。首次观察到从机理上会导致Nb₃Sn薄膜局部Sn缺失的“少核区”现象，提出基于阳极化预处理的针对性抑制方案，从成核源头避免Nb₃Sn薄膜出现局部不均匀的可能。首次发现低温烘烤效应，为Nb₃Sn薄膜超导腔标准后处理工艺的改进、确定提供指导性规范。近代物理研究所已完成已有镀膜设备的升级改造，将继续突破并掌握高性能Nb₃Sn超导腔这一前沿热点与“卡脖子”关键技术，为我国未来的超导加速腔结构选择提供一条前瞻性技术路线。
 

射频超导；铌三锡；蒸气扩散；少核区；低温烘烤