氧化铝陶瓷表面钛金属化涂层制备及力学性能表征
编号:135 访问权限:仅限参会人 更新:2020-12-09 10:58:11 浏览:444次 口头报告

报告开始:2020年11月15日 11:05(0)

报告时间:15min

所在会场:[G] 分会场六:摩擦学表面工程论坛A [L2A] 摩擦学表面工程论坛-2-11月15日上午

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摘要
陶瓷-金属连接件具有金属材料的韧性,同时也具有陶瓷材料的腐蚀磨损抗性及高温稳定性,能够满足极端环境下材料设计与应用的要求,被广泛应用于极大规模集成电路、微机电系统及生物材料等先进材料制造领域。但是由于金属在陶瓷表面润湿性较差,难以形成可靠的连接件。目前通过在陶瓷表面预沉积一层金属化薄膜来改善润湿性,然而严苛的实验条件限制了其应用范围。因此有必要对现有制备方法改进,使其能够在实际工程中得到推广。本研究采用气相沉积方法在氧化铝陶瓷表面制备钛金属化薄膜,对薄膜进行纳米压入测试、划痕测试以及摩擦测试,对刻划过程中薄膜塑性变形行为进行表征,结合纳米压入得到的硬度、弹性模量以及其相互关系分析了不同制备温度下薄膜的摩擦抗性、塑性变形抗性以及裂纹生成抗性,结合扫描电子显微镜分析了几种薄膜的能量耗散机制,为陶瓷金属化涂层制备及力学行为分析提供参考。
关键词
陶瓷金属化,力学性能,摩擦磨损
报告人
邢学刚
太原理工大学

稿件作者
邢学刚 太原理工大学
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重要日期
  • 会议日期

    11月13日

    2020

    11月16日

    2020

  • 10月31日 2020

    提前注册日期

  • 11月05日 2020

    初稿截稿日期

  • 11月16日 2020

    注册截止日期

主办单位
中国机械工程学会表面工程分会
承办单位
广东省新材料研究所
北京大学深圳研究生院
现代材料表面工程技术国家工程实验室
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