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N含量对TaN涂层的结构的影响及其微纳摩擦的性能
编号：134 访问权限：仅限参会人 更新：2020-12-09 11:21:29 浏览：447次 口头报告

报告开始：2020年11月15日 14:25（0）

报告时间：15min

所在会场：[G] 分会场六：摩擦学表面工程论坛A [L1B] 摩擦学表面工程论坛-1-11月15日下午

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摘要
本工作中，在磁控溅射过程中，在保持腔体气压不变的情况下，通过改变不同气流量的氮气，可以观察到对应的TaN涂层具有不同的结构，氮含量较低时，表现为体心立方的Ta金属，随着氮含量的增加，结构会转变为六方及面心立方结构，最终向非晶涂层转变。针对不同结构的TaN涂层，其机械性能也完全不同，尤其是力学性能，其硬度与模量随着结构的变化有较大的差异，其中面心立方结构的TaN具有较大的硬度与模量，而且有较好的韧性。
针对这几种不同的结构进行了微纳摩擦的测试，可以观察到面心立方结构的TaN具有较好的耐磨性能，其摩擦系数与磨损率均较低，表现出了较好的耐磨性能。
关键词
结构,微纳摩擦
报告人
朱烨彪
学生 中国科学院宁波材料技术与工程研究所

稿件作者
朱烨彪 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
李金龙 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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重要日期

  • 会议日期

    11月13日

    2020

    至

    11月16日

    2020

  • 10月31日 2020

    提前注册日期

  • 11月05日 2020

    初稿截稿日期

  • 11月16日 2020

    注册截止日期

主办单位
中国机械工程学会表面工程分会
承办单位
广东省新材料研究所
北京大学深圳研究生院
现代材料表面工程技术国家工程实验室
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