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TaCN涂层在宽温域环境下的摩擦性能研究

TaCN涂层，低摩擦系数，宽温域

氮化钽（TaN）作为一种高硬度涂层，具有优异的热稳定性、耐腐蚀性和化学稳定性。而摩擦系数较高是影响TaN涂层应用的最大限制问题，将碳元素掺入TaN涂层体系中可以有效降低摩擦系数。因此，通过磁控溅射方法沉积制备TaCN涂层，通过改变乙炔流量大小沉积制备了一批TaCN涂层。结果表明，TaCN涂层的摩擦系数相比TaN涂层得到了大幅度的降低。当氮气流量为30 sccm，乙炔气流量为30 sccm时，TaCN涂层具有非常低的摩擦系数（在0.15左右）。并且针对该性能较为优异的TaCN涂层进行高温下的实验探究，发现该TaCN涂层在室温摩擦系数可以实现低于0.2，650℃高温下摩擦系数约为0.3。